1. 개요
Steady Temperature and Humidity Room온도와 습도를 일정하게 유지하는 시설이며, 반도체 제조 공정 및 특수 실험실과 같은 고정밀도의 실내 환경이 필요한 시설이나 수장고와 같은 골동품 및 고미술품 등의 귀중품을 보관하기 위한 시설 등에 적용한다.
2. 상세
항온 항습실은 주로 과학 연구를 위한 실험실 또는 반도체 제조 공정과 같은 극도의 정밀함이 요구되는 나노 규모 공정의 산업이나 각종 문화재 및 골동품이나 고미술품 등의 보존을 위해 설치되는 시설이다. 이러한 시설은 골동품이나 고미술품 등을 보존할 때도 필요한데 오래된 유물일수록 날씨에 따른 온도나 습도에 의해 각종 미생물들과 실내조명 등에 따른 화학적인 요인의 영향을 받기 때문이다.그 외에도 현대에 생산된 수집품 등을 보존하기 위한 용도로 사용되기도 하는데, 특히 자동차와 같은 기계적인 요소가 많은 공산품은 사용하지 않아도 오랜 시간 외부의 공기와 접촉하게 되면 고무로 이루어진 부싱 등의 각종 부품이 경화되어 갈라질 수 있고 엔진 또는 변속기 역시 내부의 윤활유가 굳어서 붙을 수 있으며 차체 표면의 페인트나 실내를 이루는 내장제도 점차 경화되어 갈라지거나 벗겨질 수 있기 때문이다.
반도체 제조 공정 및 기술적인 분야에 관련된 시설에 대한