1. 삼한 및 삼국시대
- 삼한시대에는 마한에 속하였다.
- 삼국시대 백제 때에는 당진을 중심으로 한 벌수지현, 면천방면의 혜성군, 정미면은 여촌현, 신평을 중심으로 한 사평현으로 나뉘었다.
2. 남북국시대 및 고려시대
- 통일신라 경덕왕때(757년) 혜군은 혜성군, 벌수지현은 당진현으로, 사평현은 신평현으로, 여촌현은 여읍현으로 개칭되었다.
- 고려 성종 2년(983년) 전국을 12주로 나누어 정비할 때 홍주목에 속한 혜성군, 당진현, 신평현이었다.
- 성종 14년 전국을 다시 10도로 개편할 때 하남도에 속하였다. 하남도는 공주와 운주(현 홍성)로 구성되었고, 혜성군은 운주의 속군, 당진현, 신평현은 운주의 속현이 되었다.
- 예종 원년(1105년) 혜성군과 당진현에 감무를 두었다.
- 충렬왕 24년(1298년) 합덕부곡이 합덕현으로 승격되어 운주에 속하게 되었다.
3. 조선시대
- 태조 4년(1395년) 공주, 홍주, 청주 산하의 군현을 재편성하여 충청도로 개칭되었다.
- 태종 13년(1413년) 당진을 현으로 하고 현감을 두었다. 이때 면천지역은 면천군으로 개칭, 합덕읍 지역은 홍주목의 속현인 합덕현에서 세조때 합남면, 합북면으로 분할되었다.
- 고종 32년(1895년) 당진현이 당진군으로 승격됨과 동시에 홍주부에 편입되었으며, 이듬해인 1896년 충청남도로 편입되었다. 당시 당진군은 군내 동면, 남면, 상대면, 하대면, 고산면, 외맹면, 내맹면의 8개면을 관할하였다. 편의를 위해 위 이미지에 그려진 홍주군, 아산군, 그리고 덕산군의 영역은 모두 본토와는 떨어져 고립된 월경지이며 1906년 월경지 정리 당시 모두 면천군에 편입된다.
4. 일제강점기
- 1914년 군면통폐합 때 면천군 22개면과 해미군 일도면 대운산의 2개리와 염솔면 삼곡리 일부, 예산군 신종면의 옥금, 흑석의 2개리의 일부를 병합하여 당진군으로 하였다. 이 때 당진군은 이배, 고대, 석문, 마암, 송산, 순성, 범천, 합덕, 송악, 신평의 10개면, 123개리로 개편, 관할하게 되었다.
- 1917년 10월 마암면을 면천면으로, 1928년 이배면을 당진면으로, 1942년 10월 1일 범천면을 우강면으로 고쳤다.
5. 해방 이후
- 1957년 11월 6일 법률 제456호에 의거 서산군 대호지면(9개리)과 정미면(18개리) 전체를 편입하여 12개면을 관할하게 되었다.[2]
- 1963년 1월 1일 법률 제1177호에 의거하여 당진면이 읍으로 승격되었다.
- 1973년 7월 1일 대통령령 제6542호에 의거하여 정미면 여미리가 서산시 운산면에 편입되었고, 대통령령 제6543호에 의거 합덕면이 읍으로 승격되었다.
- 2010년 1월 1일 지방자치법 제4조의2 제1항에 의거 송악면이 송악읍으로 승격되었다. (당진군 송악읍 설치 및 읍의 관할 구역 변경에 관한 조례 1936호)
- 2012년 1월 1일 당진군이 충청남도 당진시 도농복합형태의 시 설치 등에 관한 법률(법률 제10993호)로 당진시로 승격하여 2읍 9면 3동(138개 법정리, 11개 법정동)으로 개편되었다.
[1] 현재의 법정구역을 토대로 그려진 관계로 이 당시의 실제 경계와는 상당한 차이가 있어 주의.[2] 부군면 통폐합 이전 구 해미군 지역으로, 부군면 통폐합 때 해미군 전체를 서산군에 합쳤다가 이때 구 해미군 북부에 해당하는 이 2개 면을 당진군으로 이관하였다. 이는 제4대 국회의원 선거를 앞둔 자유당 이승만 정권의 게리맨더링이라는 지적이 있다. 그러나 지도를 보면 알겠지만, 지리적으로도 정미면과 대호지면은 서산 시내(구 서산읍)보다는 당진 시내(구 당진읍)가 훨씬 더 가깝기 때문에 당진으로 넘어오는 게 낫다고 볼 수도 있다. 게다가 현재 태안군까지 포함한 당시의 서산군은 1읍 19면의 초 거대 군이었으므로 이런 행정구역 개편은 합리적인 편이라 볼 수 있다.